发明名称 一种晶元裸视检测装置
摘要 本实用新型公开了一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。本实用新型结构简单合理,通过暗室中的LED光源照射晶元,在晶元表面不平整的地方产生漫发射,可以提高裸视检出的能力;且因检测环境为黑色,光线不会在其表面发生反射,因而杜绝了反射光线对产品检测的影响。
申请公布号 CN203941114U 申请公布日期 2014.11.12
申请号 CN201420402896.1 申请日期 2014.07.21
申请人 京隆科技(苏州)有限公司 发明人 杨军
分类号 G01N21/95(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 G01N21/95(2006.01)I
代理机构 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 代理人 刘俊
主权项 一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,其特征在于,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。
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