发明名称 |
一种晶元裸视检测装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。本实用新型结构简单合理,通过暗室中的LED光源照射晶元,在晶元表面不平整的地方产生漫发射,可以提高裸视检出的能力;且因检测环境为黑色,光线不会在其表面发生反射,因而杜绝了反射光线对产品检测的影响。 |
申请公布号 |
CN203941114U |
申请公布日期 |
2014.11.12 |
申请号 |
CN201420402896.1 |
申请日期 |
2014.07.21 |
申请人 |
京隆科技(苏州)有限公司 |
发明人 |
杨军 |
分类号 |
G01N21/95(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/95(2006.01)I |
代理机构 |
北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 |
代理人 |
刘俊 |
主权项 |
一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,其特征在于,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市工业园区凤里街168号 |