一种碳化硅外延炉的清理装置

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅外延炉的清理装置，其包括一采用碳化硅材料制作的清理触头；一手柄，于手柄中设置有发光电路，该发光电路中至少包括两个发光回路，每个发光回路中设置有不同颜色的发光体；所述的清理触头安装在手柄上，并且二者之间连接有弹性伸缩件，于弹性伸缩件的压缩行程范围内至少设置有两个电极点，当清理触头受外力压缩而触发任意一个电极点时，发光电路中的一个发光回路导通，触发对应回路中的发光体发光。本实用新型采用上述技术方案后，可以保证不同的操作人员在清理外延炉的时候，保持均匀的力量清除外延过程中沉积的3C-SiC，而不损伤外延炉内表面材质，从而保证每次清理后的洁净度和均匀性，确保产品的稳定性和可持续性。

主权项

一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：该清理装置包括：一采用碳化硅材料制作的清理触头（1）；一手柄（2），于手柄（2）中设置有发光电路（4），该发光电路（4）中至少包括两个发光回路，每个发光回路中设置有不同颜色的发光体（41或42）；所述的清理触头（1）安装在手柄（2）上，并且二者之间连接有弹性伸缩件（3），于弹性伸缩件（3）的压缩行程范围内至少设置有两个电极点（43、44），当清理触头（1）受外力产生压缩触发任意一个电极点（43或44）时，发光电路中的一个发光回路导通，触发对应回路中的发光体（41或42）发光。