闭管扩散容器

摘要

本实用新型涉及一种闭管扩散容器，包括对接石英管、扩散源容器以及外延片夹具；所述对接石英管具有一装载石英管和一密封石英管，所述装载石英管和所述密封石英管之间通过一环形石英套筒连接；所述扩散源容器设于所述装载石英管内，其具有一装载口，所述扩散源容器内装设有扩散源和石棉；所述外延片夹具设于所述装载石英管内，所述外延片夹具内装设有外延片。使用所述对接石英管，可以实现外延片大尺寸扩散；使用扩散源容器和石棉，扩散源不会污染外延片；使用外延片夹具，可以相对固定外延片，还可以降低开管时，气压的冲击，防止外延片破裂；因此，所述闭管扩散容器不仅解决传统闭管扩散的问题，还适合批量生产。

主权项

一种闭管扩散容器，其特征在于，包括对接石英管、扩散源容器以及外延片夹具；所述对接石英管具有一装载石英管和一密封石英管，所述装载石英管和所述密封石英管之间通过一环形石英套筒连接；所述扩散源容器设于所述装载石英管内，其具有一装载口，所述扩散源容器内装设有扩散源和石棉；所述外延片夹具设于所述装载石英管内，所述外延片夹具内装设有外延片。