用于高压应用的具有改进端子结构的沟槽型DMOS器件

摘要

提供了一种用于半导体器件的端子结构。所述端子结构包括具有有源区和端子区的半导体衬底。端子沟槽位于所述端子区内并且从所述有源区的边界朝向所述半导体衬底的边缘延伸。MOS栅形成在所述端子沟槽的邻近所述边界的侧壁上。至少一个保护环沟槽在所述端子沟槽的远离所述有源区的一侧上形成于所述端子区中。端子结构氧化物层形成在所述端子沟槽和所述保护环沟槽上。第一导电层形成在所述半导体衬底的背面表面上。第二导电层形成在所述有源区和所述端子区顶上。

主权项

一种用于半导体器件的端子结构，所述端子结构包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有有源区和端子区；端子沟槽，所述端子沟槽位于所述端子区内并且从所述有源区的边界朝向所述半导体衬底的边缘延伸；MOS栅，所述MOS栅形成在所述端子沟槽的邻近所述边界的侧壁上；至少一个保护环沟槽，所述至少一个保护环沟槽在所述端子沟槽的远离所述有源区的一侧上形成于所述端子区中；端子结构氧化物层，所述端子结构氧化物层形成在所述端子沟槽和所述保护环沟槽上；第一导电层，所述第一导电层形成在所述半导体衬底的背面表面上；以及第二导电层，所述第二导电层形成在所述有源区和所述端子区顶上。