| 发明名称 | 配线和薄膜晶体管阵列面板的制造方法及有机发光显示器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种配线和薄膜晶体管阵列面板的制造方法及有机发光显示器。所述配线的制造方法包括：在基板上形成下层；在所述下层上形成中间层；在所述中间层上形成上层；在所述上层上形成、曝光并显影光刻胶层以形成光刻胶图案；并且通过将所述光刻胶图案用作掩膜刻蚀所述上层、所述中间层和所述下层，以形成配线，使得所述上层覆盖所述中间层的端部。 | ||
| 申请公布号 | CN104143563A | 申请公布日期 | 2014.11.12 |
| 申请号 | CN201410195634.7 | 申请日期 | 2014.05.09 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 尹秀娟;孙东珍 |
| 分类号 | H01L27/32(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 宋颖娉;康泉 |
| 主权项 | 一种制造配线的方法，包括在基板上形成下层；在所述下层上形成中间层；在所述中间层上形成上层；使用显影工艺在所述上层上形成光刻胶图案；以及通过将所述光刻胶图案用作掩膜刻蚀所述上层、所述中间层和所述下层来形成配线，其中所述上层覆盖所述中间层的端部。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||