一种曝光装置及其方法

摘要

一种曝光装置及方法，该装置包括照明单元，发出相干光束；棱镜集合，该相干光束经由该棱镜集合形成多数平行的干涉臂出射；干涉头，将该些平行的干涉臂干涉形成干涉条纹；以及基底，该干涉条纹位于该基底表面；其特征在于，该棱镜集合包括第一棱镜及第二棱镜，该第一棱镜与第二棱镜沿光传播方向的间距可调节，且该些平行的干涉臂经由该干涉头后汇聚的高度恒定。

主权项

一种曝光装置，沿光传播方向包括：照明单元，发出平行的相干光束；包括第一棱镜及第二棱镜的棱镜集合，该平行的相干光束经由该棱镜集合形成多数平行的干涉臂出射，其中，该第一棱镜与第二棱镜沿光传播方向的间距可调节，该第一棱镜，包括一由多数第一切面形成的凹部，且该些第一切面会合于第一点，该第二棱镜，包括一由多数第二切面形成的凸部，且该些第二切面会合于第二点，该凸部与该凹部相匹配；以及干涉头，将该些平行的干涉臂干涉形成干涉条纹，且该些平行的干涉臂经由该干涉头后汇聚的高度恒定。