| 发明名称 | 基板处理装置以及基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板处理装置以及基板处理系统。该安装机(10)(基板处理装置)抑制对处理对象的基板执行指定的处理所需的合计时间增加，并且无需设置专用的设备就确定处理对象的基板所具有的多个副基板中的每个副基板的不良标记信息。该安装机(10)包括基板识别摄像机(13b)和控制器(19)，控制器(19)基于表示是否对单片基板(50a)附有损坏标记(BM)的损坏标记信息，以使基板识别摄像机(13b)按容易确定处理对象的多片拼接基板(50)的顺序对单片基板(50a)进行拍摄的方式来控制拍摄顺序，由此确定处理对象的多片拼接基板(50)，并且确定所确定的处理对象的多片拼接基板(50)的损坏标记信息。 | ||
| 申请公布号 | CN102629562B | 申请公布日期 | 2014.11.12 |
| 申请号 | CN201210001735.7 | 申请日期 | 2012.01.05 |
| 申请人 | 雅马哈发动机株式会社 | 发明人 | 西城洋志;小林宽 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 穆德骏;谢丽娜 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其对分别具有多个副基板的多个基板中的每个基板进行指定的处理，其特征在于包括：摄像部，对处理对象的所述基板所具有的所述多个副基板中的每个副基板分别进行拍摄；以及控制部，对所述摄像部的拍摄动作进行控制，其中，所述控制部，基于表示是否在所述多个基板中的每个基板所具有的所述多个副基板中的每个副基板上附有不良标记的不良标记信息，通过控制所述多个副基板的拍摄顺序以使所述摄像部按容易确定所述处理对象的基板是所述多个基板中的哪一个基板的顺序对所述处理对象的基板所具有的所述多个副基板进行拍摄，来确定所述处理对象的基板是所述多个基板中的哪一个基板，并确定所确定的所述处理对象的基板所具有的所述多个副基板的所述不良标记信息。 | ||
| 地址 | 日本静冈县磐田市 | ||