一种多功能一体化发火芯片及其控制方法

摘要

本发明公开了一种多功能一体化发火芯片及其控制方法。本发明的芯片包括：衬底、电火工品、保险开关、失效开关、失能开关和逻辑控制电路。本发明将电火工品、保险开关、失效开关、放电开关和逻辑控制电路分别制备成独立的或彼此组合的芯片，既保证电火工品在非发火状态下具有高安全性，又避免了没有正常发火后的危害；同时，由于本发明使用了MEMS-CMOS工艺使得产品的一致性大大提高，体积大大降低，同时免除了传统安全、解保系统的装配问题，也降低了安全、解保系统安装的空间要求；本发明成本低、体积小；可靠性高、耐受力强，可以提高在恶劣发射条件下的生存能力；模块化封装，通用性强，免装配，易于生产和勤务处理。

主权项

一种多功能一体化发火芯片，其特征在于，所述芯片包括：衬底、电火工品、保险开关、失效开关、放电开关和逻辑控制电路；其中，衬底划分为动作区和逻辑控制区，动作区采用MEMS工艺，电火工品、保险开关、失效开关和放电开关设置在动作区上；逻辑控制区采用CMOS工艺，逻辑控制电路设置在逻辑控制区上；所示电火工品的两个发火电极分别连接至外部的发火控制电路；所示保险开关的一对被控端与电火工品并联，保险开关的一对控制端分别连接至外部的保险控制电路；所示失效开关的一对被控端与电火工品串联，失效开关的一对控制端连接至外部的失效控制电路；所述失能开关的一对被控端并联在保险控制电路的发火电容的两端，失能开关的一对控制端连接至外部的失能控制电路；逻辑控制电路包括多个电极，分别连接至外部的各个控制电路。