主权项 |
一种飞行时间和光强探测结合的光学频率梳测距装置,其特征在于,包括:光学频率梳、参考反射镜M<sub>R</sub>、分束器BS<sub>1</sub>、分束器BS<sub>2</sub>、目标反射镜M<sub>T1</sub>、目标反射镜M<sub>T2</sub>、遮光板S<sub>1</sub>、遮光板S<sub>2</sub>;所述参考反射镜M<sub>R</sub>、分束器BS<sub>1</sub>、分束器BS<sub>2</sub>、目标反射镜M<sub>T1</sub>、目标反射镜M<sub>T2</sub>构成了三个等效的迈克尔逊干涉仪,所述分束器BS<sub>2</sub>位于所述的分束器BS<sub>1</sub>和目标反射镜M<sub>T1</sub>之间,其中,由参考反射镜M<sub>R</sub>、分束器BS<sub>1</sub>、分束器BS<sub>2</sub>和目标反射镜M<sub>T1</sub>构成迈克尔逊干涉仪A,由参考反射镜M<sub>R</sub>、分束器BS<sub>1</sub>、分束器BS<sub>2</sub>和目标反射镜M<sub>T2</sub>构成迈克尔逊干涉仪B,由目标反射镜M<sub>T1</sub>、B分束器S<sub>2</sub>和目标反射镜M<sub>T2</sub>构成迈克尔逊干涉仪C;所述遮光板S<sub>1</sub>位于分束器BS<sub>2</sub>与目标反射镜M<sub>T1</sub>之间,所述遮光板S<sub>2</sub>位于分束器BS<sub>2</sub>与目标反射镜M<sub>T2</sub>之间;在所述迈克尔逊干涉仪A和所述迈克尔逊干涉仪B的输出光路上设有一透镜和光电探测器PD<sub>1</sub>,所述迈克尔逊干涉仪A用于探测目标反射镜M<sub>T1</sub>返回脉冲的空间相对位置,所述迈克尔逊干涉仪B用于探测目标反射镜M<sub>T2</sub>返回脉冲的空间相对位置;在所述迈克尔逊干涉仪C的输出光路上设有光电探测器PD<sub>2</sub>,所述迈克尔逊干涉仪C用于探测目标反射镜M<sub>T1</sub>和目标反射镜M<sub>T2</sub>各自返回的脉冲干涉后的光强;所述参考反射镜M<sub>R</sub>设在一纳米位移平台PZT1上,所述目标反射镜M<sub>T1</sub>设在一纳米位移平台PZT2上;有一示波器,用于显示光电探测器PD<sub>1</sub>和光电探测器PD<sub>2</sub>的输出电信号。 |