纤维光学系统及其使用

摘要

一种用于压力测量的纤维光学系统具有压力传感器元件（4），其具有至少两个平行的部分反射表面（5、7），其中的一个被布置在隔膜（6）上，可由于跨越所述隔膜的压力差而相对于另一固定的所述表面移动。所述表面被布置以便根据这些表面之间的实际10距离而引起基本地垂直地入射到两个表面上且被其反射的光的干涉现象。压力传感器元件由在高达至少800℃的连续温度上稳定的材料制成。传感器元件的至少所述隔膜（6）由SiC制成，并且连接到所述传感器元件的光纤（3）的至少一部分（23）由能够耐受至少800℃的连续温度的材料制成。

主权项

一种用于压力测量的纤维光学系统，包括• 压力传感器元件（4），其具有至少两个平行部分反射表面（5、7），其中的一个被布置在隔膜（6）上，可由于跨越所述隔膜的压力差而相对于另一固定的所述表面移动，所述表面被布置为以便根据这些表面之间的实际距离引起基本上垂直地入射到两个表面（5、7）上且被其反射的光的干涉现象，• 光源（1），其被配置为发射光，• 光纤（3），其被配置为接收和传送在一个方向中从所述光源到所述压力传感器元件的光和在相反方向中采取被所述表面反射的光的形式的测量信号，以及• 设备（12），其被配置为接收所述测量信号并评估此信号，以便确定所述隔膜处的压力值，其特征在于所述压力传感器元件（4）由在高达至少800℃的连续温度上稳定的材料制成，所述传感器的至少所述隔膜（6）由SiC制成，并且连接到所述传感器元件的所述光纤（3）的至少一部分（23）由能够耐受至少800℃的连续温度的材料制成；其特征在于其包括荧光部件（8'、8"），其被布置于在压力传感器元件（4）的所述反射表面（5、7）的上游从所述光源（1）传送的所述光的路径中，并被配置为吸收来自光源的所述光的一部分以便在所述光纤中在相反方向中重新发送由光学激励引起的辅助光以便被提供用于评估;其特征在于所述荧光部件（8"）被与所述压力传感器元件（4）相连地布置以便暴露于与压力传感器元件相同的压力传感器元件周围介质的温度，所述荧光部件由一种材料制成，该材料具有温度相关荧光性质，其为所述辅助光的温度相关谱分布或是温度相关的最后提及的光的时间延迟常数的形式，并且所述系统还包括被配置为接收从所述荧光部件重新发送的所述光并由其确定压力传感器元件周围的介质的温度值的装置（15）。