半导体激光测试装置及测试方法

摘要

本发明提供一种半导体激光测试装置，其包括一个用于承载一个样品的导体载物台、一个电源、一个正对该导体载物台设置的光学系统及与该光学系统光学耦合的一个激光光源、一个成像装置及一个光谱仪。该电源包括一个阳极探针及一个阴极探针，该电源用于通过该阳极探针及该阴极探针向该样品输出一个工作电压以使该样品电致发光(EL)。该激光光源用于发射激光，该激光通过该光学系统投射在该样品上以使该样品光致发光(PL)；该成像系统用于通过该光学系统对EL或PL的该样品成像；该光谱仪用于通过该光学系统测量该样品EL或PL的波长。本发明还提供一种半导体激光测试方法。

主权项

一种半导体激光测试装置，其包括：一个用于承载一个样品的导体载物台；一个电源，包括一个阳极探针及一个阴极探针，该电源用于通过该阳极探针及该阴极探针向该样品输出一个工作电压以使该样品电致发光(EL)；一个正对该导体载物台设置的光学系统；及与该光学系统光学耦合的一个激光光源、一个成像装置及一个光谱仪；该激光光源用于发射激光，该激光通过该光学系统投射在该样品上以使该样品光致发光(PL)；该成像系统用于通过该光学系统对EL或PL的该样品成像；该光谱仪用于通过该光学系统测量该样品EL或PL的光谱波长。