微机电系统镜片及微机电系统反射装置

摘要

一种微机电系统镜片，包括反射微镜及多个微机电驱动模块。该反射微镜包括镜片本体及多个制动轴，该多个制动轴分别从镜片本体的侧面向外延伸。该微机电驱动模块与制动轴一一对应，每一微机电驱动模块包括液体收容盒、光纤及光源。该液体收容盒包括槽体部及将槽体部的开口密封的挠性的密封膜，该密封膜与制动轴相对，该密封膜与液体收容盒内的液体材料的液面相接触，该槽体部开设有收容孔。光纤的光出射端从液体收容盒的外侧插入该收容孔。光源与光纤的光入射端相对。本发明进一步包括采用上述微机电系统镜片的微机电系统反射装置。

主权项

一种微机电系统镜片，包括：反射微镜，包括镜片本体及多个制动轴，该镜片本体具有相对的反射面和底面及连接该反射面和底面的侧面，该多个制动轴分别从该侧面向外延伸，且以该镜片本体的中心轴等角度排列；及多个微机电驱动模块，与该多个制动轴一一对应，每一微机电驱动模块包括：液体收容盒，该液体收容盒包括一端开口的刚性的槽体部及将该槽体部的开口密封的挠性的密封膜，该密封膜与对应的制动轴邻近于该底面的一侧相对，该液体收容盒内收容有液体材料，该密封膜与该液体材料的液面相接触，该槽体部开设有贯穿其内壁的收容孔；光纤，具有相对的光入射端和光出射端，该光出射端从该液体收容盒的外侧插入该收容孔；及光源，与该光纤的光入射端相对，用于发出光线并入射至光入射端，进而传输至该光出射端并出射，使该液体收容盒内的液体材料遇光变热而膨胀。