一种平面电机初始位置探测方法

摘要

本发明提供一种平面电机初始位置探测方法，基于所述平面电机本身的位置测量传感器，通过对所述平面电机采用电流环闭环控制和位置环PID闭环控制，并利用噪声激励，依次测得所述平面电机动子的每一个三相线圈组相对定子的精细初始位置，完成平面电机初始位置的探测，不需要附加其它传感器及对应信号处理电子电路，就可实现光刻机工件台多自由度精密运动定位，简化了探测工艺，降低了探测成本。

主权项

一种平面电机初始位置探测方法，所述平面电机包含定子，动子及位置测量传感器，所述动子包含四个三相线圈组，其特征在于，包括：所述平面电机电流环闭环，选取一个三相线圈组，并向该三相线圈组中通入电流，得到该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的初始相角偏置；所述平面电机电流环闭环，将所述初始相角偏置代入换相算法，改变该三相线圈组中通入电流的空间相角，得到该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的空间相角正向变化与所述平面电机运动正方向的关系；应用所述初始相角偏置以及所述空间相角正向变化与所述平面电机运动正方向的关系，进行所述平面电机位置环PID闭环控制，对所述PID闭环控制输出值注入噪声，得到该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的精细初始位置；依次选取其它三相线圈组，重复上述步骤，完成平面电机的初始位置探测；所述得到该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的精细初始位置的方法，包括：改变该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的空间相角，并对所述PID闭环控制输出值注入噪声，读取位置测量传感器的值，得到平面电机运动的加速度值；根据所述加速度值及所述PID闭环控制输出值注入噪声的求和新值，采用数学方法进行处理，得到所述加速度值作为输出，求和新值作为输入激励的比例增益；找出比例增益最大时对应的该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的空间相角，即该三相线圈组在所述定子的空间磁场中的精细初始位置。