厚膜压力传感器

摘要

一种厚膜压力传感器，包括：金属基体、介质层、厚膜应变电阻、导带、焊盘、绝缘保护层，其特征在于所述金属基体为厚膜应变传感器的弹性体，在金属弹性体上面设置介质层，在介质层上布置厚膜应变电阻、导带、焊盘，所述的厚膜应变电阻通过导带和焊盘连接成惠斯通电桥，厚膜应变电阻、导带和焊盘上印烧有绝缘保护层。本实用新型的优点是介质层和厚膜应变电阻直接印烧在金属弹性体上，性能稳定，厚膜压力传感器温度系数小，工作温度和量程范围宽，厚膜工艺成熟，金属基体价格低廉。

主权项

一种厚膜压力传感器,包括:金属基体、介质层、厚膜应变电阻、导带、焊盘、绝缘保护层,其特征在于所述金属基体为厚膜应变传感器的弹性体，在金属弹性体上设置介质层，在介质层上布置厚膜应变电阻、厚膜调阻电阻、导带、焊盘，所述的厚膜应变电阻通过导带和焊盘连接成惠斯通电桥，所述的厚膜应变电阻、导带和焊盘上设置有绝缘保护层。