一种合流式气体流量控制装置

摘要

本发明公开了一种合流式气体流量控制装置，包括控制电路板、流量检测器、电磁阀模块；所述流量控制器通过气管与电磁阀模块的第一进气口相连；所述控制电路板通过导线与流量检测器和电磁阀模块相连；所述流量检测器的进气口进入待测气流，流量检测器将流量信号传给控制电路板；所述控制电路板向电磁阀模块发出控制信号；所述电磁阀模块在控制信号的作用下调整阀门角度，从而控制流过流量检测器的气流；本发明通过控制电路板、流量检测器、电磁阀模块的配合使用，能够降低产品成本，简化加工工艺，减小流量变小对真空泵产生负荷，延长真空泵的使用寿命；同时用于气体混合。

主权项

一种合流式气体流量控制装置，其特征在于：包括控制电路板、流量检测器、电磁阀模块；所述电磁阀模块设有第一进气口以及用于接入合流气体的第二进气口；所述流量控制器通过气管与电磁阀模块的第一进气口相连；所述控制电路板通过导线与流量检测器和电磁阀模块相连；所述流量检测器的进气口进入待测气流，流量检测器将流量信号传给控制电路板；所述控制电路板将当前流量值和设定流量值比对，作出反应向电磁阀模块发出控制信号；所述电磁阀模块在控制信号的作用下调整电磁阀的阀门角度，调节电磁阀模块的第一进气口气流，同时调节电磁阀模块的第二进气口气流，从而控制流过流量检测器的气流。