一种氮化镓器件的加工方法和氮化镓器件

摘要

本发明实施例提供一种氮化镓器件的加工方法，该加工方法为：在氮化镓器件的表面垫积一层氧化层，所述氧化层的材质为电绝缘材质，对所述氧化层进行刻蚀，以保留所述氮化镓器件的台阶的侧壁上的氧化层、并去除掉所述台阶的侧壁之外的其他部分的氧化层。本发明还公开了一种氮化镓器件。采用本发明，可以完全的刻蚀掉上述台阶的前后两侧的金属层，避免金属刻蚀中台阶的前后两侧的侧壁金属残留，防止氮化镓器件的源级（S）和漏极（D）的金属短接互连，并有效的隔离氮化镓器件的栅极金属和氮化镓器件的导电沟道、防止氮化镓器件漏电。

主权项

一种氮化镓器件的加工方法，其特征在于，该方法包括：在所述氮化镓器件的表面垫积一层氧化层，所述氧化层的材质为电绝缘材质；对所述氧化层进行刻蚀，以保留所述氮化镓器件的台阶的侧壁上的氧化层、并去除掉所述台阶的侧壁之外的其他部分的氧化层。