发明名称 图像传感器以及制造该图像传感器的方法
摘要 一种图像传感器以及制造该图像传感器的方法。所述图像传感器包括支撑衬底、位于所述支撑衬底下的布线层、位于所述布线层下的外延层、以及位于所述外延层中的光电二极管。所述外延层相对于[001]晶向具有大约0.3°至大约1.5°的偏离角。
申请公布号 CN104145337A 申请公布日期 2014.11.12
申请号 CN201280070992.4 申请日期 2012.11.29
申请人 LG矽得荣株式会社 发明人 林鸿江
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人 王琳;武晨燕
主权项 一种图像传感器,包括:支撑衬底;布线层,位于所述支撑衬底下;外延层,位于所述布线层下;以及光电二极管,位于所述外延层中,其中,所述外延层相对于[001]晶向具有大约0.3°至大约1.5°的偏离角。
地址 韩国庆尚北道