| 发明名称 |
正型感光性树脂组成物、光阻图案的制造方法以及电子零件 |
| 摘要 |
一种正型感光性树脂组成物，其含有(A)具有酚性羟基的硷溶性树脂、(B)经具有碳数为4~100之不饱和烃基的化合物改质的酚树脂、(C)利用光可生成酸的化合物、(D)藉由加热而使(A)成分及(B)成分交联的热交联剂、以及(E)溶剂。 |
| 申请公布号 |
TWI460543 |
申请公布日期 |
2014.11.11 |
| 申请号 |
TW098129713 |
申请日期 |
2009.09.03 |
| 申请人 |
日立化成股份有限公司 日本 |
发明人 |
松谷宽;上野巧;尼古拉斯 艾利山德拉;七海宪 |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种正型感光性树脂组成物，其含有：(A)具有酚性羟基的硷溶性树脂；(B)经具有碳数为4~100之不饱和烃基的化合物改质的酚树脂；(C)利用光可生成酸的化合物；(D)热交联剂；以及(E)溶剂。 |
| 地址 |
日本 |
