发明名称 基板保持环
摘要 【物品用途】;本设计系提供一种”基板保持环”,尤指一种有别于业界贯用造型之新颖式设计,本设计所述基板保持环系用于半导体等制造基板的研磨制程,用以保持如晶圆等基板研磨时之相对位置。;【设计说明】;如附图所示,所述”基板保持环”外观系包括有以一圆环状框体以及嵌设于圆环状框体外周侧之多数弧状导滑增益元件以及一折型胶圈所共构而成;其创作特点在于其整体各部位相乘视觉效果,包括:若配合立体图、俯视图以及A-A剖视局部放大图观之,该圆环状框体外周侧一高度位置系形成有呈横侧向内凹且上、下间隔相对的一环型嵌凹沟以及一环型凹槽加以修饰点缀,其中该折型胶圈内缘系嵌组于该环型嵌凹沟内,而各该弧状导滑增益元件系嵌组于环型凹沟内呈环型并列状,且其中,该折型胶圈断面系概呈弧曲Z字形之造型风格;另请配合参阅弧状导滑增益元件拆卸状态局部放大图所示,各弧状导滑增益元件断面系概呈矩形造型态样,并于顶、底部一偏侧凸设形成有上、下相互对称且概呈ㄇ型;之凸缘加以点缀,且该环型凹槽与凸缘相对位处设置概呈ㄇ型之嵌缘用以配合凸缘,以凸显该圆环状框体断面之独特造型风格;另外,该圆环状框体一侧面系设有呈环状排列且断面呈L型之装饰剖沟(此处请配合参阅立体图所示),以使圆环状框体表面系相对形成有环状间隔排列之凸块;藉此等视觉特征所共构而成的基板保持环,其完全摆脱既有产品的传统造型设计,使整体架构中兼具多元及线条修饰之独特造型美感,确实为一新颖、独特之设计,因此,极为实用美丽,并极富巧思性与变化性,爰依法提出设计专利申请。;图式所揭露之一点链线系用以界定特征之局部范围,该一点链线本身为本案不主张之部分。
申请公布号 TWD164160 申请公布日期 2014.11.11
申请号 TW102305449 申请日期 2013.08.12
申请人 陈世发 新竹市北区崧岭路50巷24号 发明人 陈世发
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 陈居亮 台中市南屯区大墩十二街680号
主权项
地址 新竹市北区崧岭路50巷24号