触控面板及其形成方法与显示系统

摘要

本发明一实施例提供一种触控面板的形成方法，包括：提供一基底；形成一透明导电层于该基底上；形成一导电层于该透明导电层上；形成一光阻层于该导电层上，该光阻层具有一第一部分、一第二部分及至少一开口，该第一部分之厚度大于该第二部分之厚度，且该开口露出部分该导电层；以该光阻层为遮罩，蚀刻移除露出的该导电层及其下方之该透明导电层，以使该透明导电层形成一透明导电图案层；移除该光阻层之该第二部分以露出位于其下方之部分该导电层；以该光阻层为遮罩，蚀刻移除露出的该导电层，以使该导电层形成一走线层；以及移除该光阻层。

主权项

一种触控面板的形成方法，包括：提供一基底；形成一透明导电层于该基底上；形成一导电层于该透明导电层上；形成一光阻层于该导电层上，该光阻层具有一第一部分、一第二部分及至少一开口，该第一部分之厚度大于该第二部分之厚度，且该开口露出部分该导电层；以该光阻层为遮罩，蚀刻移除露出的该导电层及其下方之该透明导电层，以使该透明导电层形成一透明导电图案层；移除该光阻层之该第二部分以露出位于其下方之部分该导电层；以该光阻层为遮罩，蚀刻移除露出的该导电层，以使该导电层形成一走线层，该走线层与该基底之间系由该透明导电图案层间隔开，且该走线层之侧面与该透明导电图案层之侧面实质上共平面；以及移除该光阻层。