使用雷射－超音波系统作样本光谱特性分析之方法及装置

摘要

本发明揭示一种使用一雷射超音波系统对一材料作光谱分析之方法。该方法包括量测一已藉由一产生雷射激发之目标表面的振幅位移。该等振幅位移与该目标之光学吸收性质有关。在一雷射波长范围上产生多个振幅位移以获得对于识别目标材料组份特性有用的光学吸收特征。

主权项

一种目标物件材料分析之方法，其包含：(a)将一产生雷射光束导向目标之一部分以在该目标之一部分之表面上产生超音波位移；(b)改变该产生雷射光束波长并藉由将具有改变之波长之产生雷射光束导向至该目标部分以在该目标部分之表面上产生超音波位移；(c)测量步骤(a)与步骤(b)之超音波位移之振幅；(d)形成该产生光束之波长相对于该估计之超音波位移之图表；(e)提供由将产生雷射光束导向已知组分之一目标所产生之一产生雷射光束之波长相对于超音波位移之图表；及(f)藉由比较步骤(d)之图表与步骤(e)之图表来判定目标组份。