杯﹝4﹞芳烃和含杯﹝4﹞芳烃之光阻剂组成物

摘要

一种分子玻璃化合物，包括式C(R1)2=C(R2)-O-(L)n-Ar1之芳香族乙烯基醚与杯[4]芳烃之乙烯基醚加成物，式中R1及R2各独立为单键，H，C1-20烷基，C1-20卤烷基，C6-20芳基，C6-20卤芳基，C7-20芳烷基，或C7-20卤芳烷基，L为C1-20联结基，n为0或1，及Ar1为含卤素之单环，或经取代或经未取代之多环或稠合多环之含C6-20芳香族基部份，其中当R1及R2任一者或两者为单键且n为0时，R1及R2连接至Ar1。亦揭露一种光阻剂，包括该分子玻璃化合物，溶剂，及光酸产生剂；一种经涂布基板，包括(a)在其表面上具有欲予图案化之一层或多层之基板；及(b)在欲予图案化之一层或多层上之光阻剂组成物层；以及一种形成分子玻璃化合物之方法。

主权项

一种分子玻璃化合物，包括：式C(R1)2=C(R2)-O-(L)n-Ar1之芳香族乙烯基醚与杯[4]芳烃之乙烯基醚加成物，式中R1及R2各独立为单键，H，C1-20烷基，C1-20卤烷基，C6-20芳基，C6-20卤芳基，C7-20芳烷基，或C7-20卤芳烷基；L为C1-20联结基；n为0或1；及Ar1为含卤素之单环、或经取代或经未经取代之多环或稠合多环之含C6-20芳香族基部份，其中当R1及R2任一者或两者为单键且n为0时，R1及R2连接至Ar1。