| 发明名称 |
用于基板覆层的方法和设备 |
| 摘要 |
介绍了用于呈板形基板覆层的方法和设备，尤其是用于太阳能电池制造的玻璃基板的覆层。所述方法包含：将在传送轴上穿过加热腔和覆层腔运动的基板在上侧和下侧上不同强度地受热，从而能提高覆层温度，而不会由于软化使得基板不能再操作。描述了如下设备，该设备适合用于实施所述方法，并且该设备具有带独立的加热系统以及传送系统的加热腔和覆层腔。 |
| 申请公布号 |
TWI460876 |
申请公布日期 |
2014.11.11 |
| 申请号 |
TW101105739 |
申请日期 |
2012.02.21 |
| 申请人 |
ＣＴＦ搜乐有限公司 德国 |
发明人 |
哈尔 迈克尔;里克特 希尔马;博塞特 斯特凡;施托伊滕 拉尔夫;乔治 斯特芬;蒂特尔 塞巴斯蒂安;谢德 维尔纳 |
| 分类号 |
H01L31/18;H01L31/02 |
主分类号 |
H01L31/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
任秀妍 新竹市光复路2段481号9楼 |
| 主权项 |
用于呈板形基板(1)的覆层的方法，包含以下步骤：a)将所述基板(1)受热到转变温度；b)与a)同时和/或随后地，将所述基板(1)的下侧比所述基板的上侧受热到更高的温度；c)将至少一种覆层材料蒸镀到所述基板(1)上，其中，在步骤b)之后执行步骤c)。 |
| 地址 |
德国 |
