发明名称 配线绘图装置及配线绘图方法
摘要 本发明之课题在于谋求配线绘图装置之精简化、成本降低并且提高绘线之可靠性。;其解决手段为具备:用以在基板上涂布材料以描绘配线等之涂布部、用以控制该涂布部至少调整前述材料的涂布量之控制部、用以拍摄利用前述涂布部在前述基板上描绘而成的配线等之照相机、用以处理从该照相机取入的图像资讯之图像处理部,前述图像处理部具备处理前述图像资讯且测量亮度值并传送至前述控制部之处理功能,前述控制部具备处理功能,该处理功能系将前述图像处理部所传送的亮度值和事先设定的阈值进行比较,当该亮度值小于阈值时,控制前述涂布部以调整前述材料之涂布量。配线绘图方法亦具备与前述同様的处理功能。
申请公布号 TWI460420 申请公布日期 2014.11.11
申请号 TW099105526 申请日期 2010.02.25
申请人 日本麦克隆尼股份有限公司 日本 发明人 佐野雅规;鸣海孝雄;金泽健太郎
分类号 G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种配线绘图装置,其特征为:具备:用以在基板上涂布材料以描绘配线等之涂布部、用以控制该涂布部以至少调整前述材料的涂布量之控制部、用以拍摄利用前述涂布部在前述基板上描绘而成的配线等之照相机、用以处理从该照相机取入的图像资讯之图像处理部,前述图像处理部,具备:处理前述图像资讯并抽出配线资讯,且在抽出之1条配线的复数部位,测量与该配线之正交方向的亮度值变化中的最大值和最小值之差,并传送至前述控制部之处理功能,前述控制部具备处理功能,该处理功能系将前述图像处理部所传送的亮度值的最大值和最小值之差和事先设定的阈值进行比较,当前述亮度值的最大值和最小值之差小于阈值时,控制前述涂布部以调整前述材料之涂布量。
地址 日本