在晶体成长期间修正实际与标称拉升速度之间的速度偏差的方法

摘要

一种系统及方法修正晶体拉升机构中之晶体拉升马达速度偏差。在第一实施例中，处理器藉由基于先前状态及自当时起行进之标称距离估计新滤波器状态，且随后基于亦为所述行进之标称距离之函数的估计误差及滤波器增益而更新所述滤波器状态来实施追踪滤波器。在第二实施例中，谐波追踪滤波器抑制残余谐波调变，且允许短时间常数。因此可修正拉升速度之快速变化。

主权项

一种用于修正晶体拉升机构中之晶体拉升马达速度偏差的方法，所述方法包括：在处理器处，当所述晶体拉升机构正在以实际速度移动时确定所述晶体拉升机构之位置改变；在所述处理器上实施滤波函数；基于所侦测到之位置改变，在所述处理器处，估计所述滤波函数之新滤波器状态；在所述处理器处，使用所估计之新滤波器状态来估计所述晶体拉升机构之新位置；在所述处理器处，确定位置估计误差；在所述处理器处，确定所述滤波函数之下一滤波器状态的滤波器增益；以及在所述处理器处，使用所述下一滤波器状态之所述估计之滤波器增益中的一或多者，修正后续时间周期中所述晶体拉升机构之所述实际速度。