发明名称 安定之表面波电浆源
摘要 叙述一种表面波电浆(SWP)源。SWP源包含一电磁(EM)波发射器,其藉由在邻近电浆之EM波发射器之电浆表面上产生一表面波,将EM能以一所需EM波模态耦合至电浆。EM波发射器包含一具有多个槽孔之槽型天线。SWP源更包含一形成于电浆表面中之第一凹部构造,其中第一凹部构造实质地与多个槽孔中之第一槽孔配置对正,及一形成于电浆表面中之第二凹部构造,其中第二凹部构造部分地与多个槽孔中之第二槽孔配置对正、或未与多个槽孔中之第二槽孔配置对正。一功率耦合系统与EM波发射器耦合,且功率耦合系统系用来将EM能提供至EM波发射器以形成电浆。
申请公布号 TWI461114 申请公布日期 2014.11.11
申请号 TW099130390 申请日期 2010.09.08
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 陈立;赵建平;波凡尼克 罗那德;方克 梅瑞特
分类号 H05H1/46;H01Q13/10 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人 周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项 一种表面波电浆(SWP)源,包含:一电磁(EM)波发射器,其藉由在邻近电浆之该EM波发射器之一电浆表面上产生一表面波,将EM能以一所需EM波模态耦合至该电浆,该EM波发射器包含:一槽型天线,该槽型天线具有多个穿过该槽型天线而形成之槽孔,该槽孔系用来将该EM能从该槽型天线之上之第一区域耦合至该槽型天线之下之第二区域;一谐振器板,其位于该第二区域并具有该谐振器板之下表面,该下表面包含该EM波发射器之该电浆表面,其中该谐振器板包含一介电板,该介电板具有一板直径及一板厚度;一第一凹部构造,其形成于该电浆表面中,该第一凹部构造系实质地与该多个槽孔中之第一槽孔配置对正,其中该第一凹部构造包含:多个第一圆柱状凹槽,该多个第一圆柱状凹槽各者具有第一深度与第一直径之特征;或一第一环状架部,该第一环状架部具有第一架部深度与第一架部宽度之特征;或一第一环状导槽,该第一环状导槽具有第一导槽深度、第一内部导槽半径、与第一外部导槽半径之特征;或其二或多个之组合;一第二凹部构造,其形成于该电浆表面中,该第二凹部构造系部份地与该多个槽孔中之第二槽孔配置对正,或未与该多个槽孔中之第二槽孔配置对正,其中该第二凹部构造包含:多个第二圆柱状凹槽,该多个第二圆柱状凹槽各者具有第二深度与第二直径之特征;或一第二环状架部,该第二环状架部具有第二架部深度与第二架部宽度之特征;或一第二环状导槽,该第二环状导槽具有第二导槽深度、第二内部导槽半径、与第二外部导槽半径之特征;或其二或多个之组合;及一功率耦合系统,其耦合至该EM波发射器且用来将该EM能提供至该EM波发射器以形成该电浆,其中该EM能包含于该谐振器板中传播之一有效波长(λ),且其中:该第一直径系约半个该有效波长(λ/2);该第二直径系约半个该有效波长(λ/2)或约四分之一该有效波长(λ/4);介于该板厚度与该第一深度、该第一架部深度、或该第一导槽深度间之第一差距系约半个该有效波长(λ/2)或约四分之一该有效波长(λ/4);及介于该板厚度与该第二深度、该第二架部深度、或该第二导槽深度间之第二差距系约半个该有效波长(λ/2)或约四分之一该有效波长(λ/4)。
地址 日本