晶片点样装置

摘要

本创作系一种晶片点样装置。晶片点样装置包含载台、运作模组、样本存放模组、一或多个清洗槽以及控制模组。前述之运作模组系操作复数个点制针来进行一维、二维或三维运行。而载台系用以承载一或多个样本晶片，每一个样本晶片系包含了复数个样本区。样本存放模组系用来存放至少一种样本。控制模组系连接并驱动运作模组，让点制针沾点指定之样本，并又即设置点制针沾点指定之样本区，控制模组又即设置点制针至至少一清洗槽进行清洗作业。

主权项

一种晶片点样装置，包含：一运作模组，该运作模组系操作复数根点制针进行一维、二维或三维运行；一载台，用以承载至少一样本晶片，各该样本晶片系包含复数个样本区；一样本存放模组，用以存放至少一种样本；至少一清洗槽，用以存放至少一种清洗剂；以及一控制模组，连接该运作模组，该控制模组于设定为点晶作业即驱动该运作模组，以使该等点制针沾点指定之该至少一样本，并又即设置该等点制针沾点指定之该等样本区，该控制模组又即设置该等点制针至该至少一清洗槽进行清洗作业；其中，该载台系与该运作模组、该样本存放模组以及该至少一清洗槽系在该运行模组之运作范围内相邻设置。