ＣＩＧＳ太阳能电池基板材平坦化制程方法

摘要

一种CIGS太阳能电池基板材平坦化制程方法，其包含有：一电解槽、一金属基板、至少一动态阴极、多数之磨料及一供电源，其中电解槽内容置有电解液，金属基板系卷绕成滚筒状，以被动力装置连续拉出拖带或做卷收，该被拖带出之金属基板还能依循着动态阴极进、出电解槽之槽室，以充份浸渍过电解液，动态阴极为一转动轮，其周缘往外依序包覆有一金属导电层与一不导电之研磨层，研磨层表面并设有刷毛，当电化学平坦化之制程在进行时，即以该研磨层与刷毛来轻微接触金属基板，磨料系添加在电解槽之电解液中，俾与动态阴极产生快速流动撞击金属基板表面之数奈米到数十奈米之细微尖端，以用来增加研磨层与金属基板间之摩擦力，供电源具有一正电极与一负电极，该金属基板系连接至正电极，而枢组在电解槽内之动态阴极则与负电极相连接，俾令研磨层与刷毛能轻触在金属基板表面者。

主权项

一种CIGS太阳能电池基板材平坦化制程方法，其包含有：一电解槽、一金属基板、至少一动态阴极、多数之磨料及一供电源，其中，该电解槽具有开口向上之一槽室，该槽室内容置有电解液，该金属基板系卷绕成滚筒状，以被动力装置连续拉出拖带或做卷收，被拖带出之该金属基板还能依循着动态阴极进、出.电解槽之槽室，以充份浸渍过电解液，俾用来进行电化学平坦化，其特征在于：该动态阴极为一枢组在电解槽内的转动轮，其周缘往外依序包覆有一金属导电层与一不导电之研磨层，该研磨层表面设有刷毛，当电化学平坦化之制程在进行时，即以该研磨层与刷毛来轻微接触金属基板，该磨料系添加在电解槽之电解液中，以用来增加磨料粒子对金属基板凸起部的撞击力，该供电源具有一正电极与一负电极，该金属基板系连接至正电极，该与电解槽进行枢组之动态阴极则与负电极相连接，俾令研磨层与刷毛能轻触在金属基板表面；藉此，利用动态阴极之旋动，配合刷毛轻触过金属基板，来将气泡与杂质扫除，系能达到良好的排屑效果，透过刷毛的扫动，还令磨料能以动态冲击的方式对金属基板表面产生摩擦，进而研磨，使金属基板表面能更趋于平坦者。