发明名称 |
鋶盐、光酸产生剂及感光性树脂组成物 |
摘要 |
本发明提供一种对i-光线之感光性高的鋶盐。本发明之鋶盐以下述式(1)所表示。;[化1];(1);[于式(1)中,R1~R6相互独立,表示烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、芳硫基羰基、醯氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、烷基亚磺醯基、芳基亚磺醯基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、羟基(聚)伸烷基氧基、可经取代之胺基、氰基、硝基或卤素原子,m1~m6分别表示R1~R6之个数,m1、m4及m6表示0~5之整数,m2、m3及m5表示0~4之整数,X-表示一价之多原子阴离子。] |
申请公布号 |
TWI460152 |
申请公布日期 |
2014.11.11 |
申请号 |
TW099104152 |
申请日期 |
2010.02.10 |
申请人 |
三亚普罗股份有限公司 日本 |
发明人 |
铃木一生;木村秀基 |
分类号 |
C07C381/12;G03F7/004;C08L101/00;G03F7/039;H01L21/027;G03F7/038 |
主分类号 |
C07C381/12 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
一种鋶盐,其以下述式(1)所表示:[于式(1)中,R1~R6相互独立,表示烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、芳硫基羰基、醯氧基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、烷基亚磺醯基、芳基亚磺醯基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、羟基(聚)伸烷基氧基、可经取代之胺基、氰基、硝基或卤素原子,m1~m6分别表示R1~R6之个数,m1、m4及m6表示0~5之整数,m2、m3及m5表示0~4之整数,X-表示一价之多原子阴离子]。 |
地址 |
日本 |