研磨垫及研磨垫的制造方法

摘要

本发明之目的为提供一种不易产生刮伤、且平坦化性能及研磨安定性等优异的研磨垫。;本发明之一方面为一种研磨垫，其特征为具备由平均纤度0.01至0.8dtex之极细纤维所形成的极细纤维络合体与高分子弹性体，其中前述高分子弹性体之玻璃转移温度为-10℃以下、在23℃至50℃之贮藏弹性率为90至900MPa、且于50℃吸水饱和时之吸水率为0.2至5质量%。

主权项

一种研磨垫，其特征为具备由平均纤度0.01至0.8dtex之极细纤维所形成的极细纤维络合体与高分子弹性体，其中该高分子弹性体系玻璃转移温度为-23至-30℃、在23℃及50℃之贮藏弹性率为90至900MPa、且于50℃吸水饱和时的吸水率为2至4质量%之聚胺酯系树脂。