盐及含有该盐之光阻组成物

摘要

一种式(a)所示之盐：;(a);其中，Q1及Q2各自独立表示氟原子等；X1表示单键等；X2表示单键等；Y1表示C3-C36脂环族烃基等，其限制条件为-X2-Y1基团具有一个或多个氟原子；以及Z+表示有机相对阳离子，以及一种光阻组成物，其包括该式(a)所示之盐及树脂，该树脂包括具有酸不稳定基之结构单元，且该树脂不溶于或难溶于硷性水溶液中，但经由酸的作用变得可溶于硷性水溶液中。

主权项

一种式(a)所示之盐，其中，Q1及Q2各自独立表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示-(CH2)k-，于该-(CH2)k-中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换，且于该-(CH2)k-中之一个或多个氢原子可经C1-C12脂族烃基置换，以及k表示1至18之整数；X2表示单键、C1-C12二价脂族烃基、C3-C12二价脂环族烃基、或经由结合二价脂族烃基与二价脂环族烃基所形成之C4-C12二价基团，且该脂族烃基中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换，以及该脂族烃基与该脂环族烃基中之一个或多个氢原子可经氟原子、羟基、C3-C36脂环族烃基或C2-C4醯基置换；Y1表示C3-C36脂环族烃基，且该脂环族烃基中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换，以及该脂环族烃基中之一个或多个氢原子可经氟原子、C1-C12脂族烃基、C3-C12脂环族烃基或C2-C4醯基置换，其限制条件为该X2所示之脂族烃基、该X2所示之脂环族烃基、该X2所示之二价基团及该Y1所示之脂环族烃基中之一个或多个氢原子经一个或多个氟原子置换；以及Z+表示有机相对阳离子。