影像感测反射器

摘要

本发明提供一种像素阵列，其系使用一基板形成，其中各个像素具有一基板、一形成于该基板中的感光区域及一反射器，该基板具有一用于接收入射光的入射侧，该反射器具有一复合形状之表面。该反射器被形成于该基板之相对于该入射侧之一部分中，使得入射在该反射器之该复合形状表面上的光朝该感光区域反射。

主权项

一种前侧照明影像感测器，其包括：一掺杂矽基板层，其具有一复合形状表面；复数个金属层之一堆叠，其沈积于该掺杂矽基板层上；一矽层，其沈积于该掺杂矽基板层与复数个金属层之该堆叠之间，该矽层具有面向复数个金属层之该堆叠之一光入射侧及面对该掺杂矽基板层之一反向侧，该矽层沈积于该掺杂矽基板层之该复合形状表面上且为不同于该掺杂矽基板层之一单一层；复数个感光区域，其沈积于该矽层之内；及复数个反射器，其沈积于位于该复合形状表面之该掺杂矽基板层与该矽层之间的一界面，其中该等反射器层之至少一侧与该掺杂矽基板层之该复合形状表面一致，其中该等反射器如该光入射侧沈积于该矽层之该反向侧，其中该复合形状表面系经定位，俾使光在通过复数个金属层之该堆叠之后入射该等反射器之该复合形状表面且该等感光区域系反射回来朝向该该等感光区域。