表面活化处理装置

摘要

一种表面活化处理装置，其包括外壳、反应装置及封闭装置；外壳包括内侧壁及底壁，内侧壁设置有承载所述基材之容置槽，底壁上开设有轴孔；反应装置容置在外壳内并通过一转轴转动连接在轴孔内；该反应装置包括外筒、容置在外筒中之内筒及设置在外筒内之紫外光灯管，外筒与内筒之间形成第一空间，内筒围成第二空间；封闭装置包括将外壳及反应装置封闭之盖体，与第一空间相连通之第一进气管及与第二空间相连通之第二进气管；外筒之侧壁设置有多个与第一空间连通之第一喷口、与第二空间连通之第二喷口及与紫外光灯管相连通之出光孔。

主权项

一种表面活化处理装置，其用于对基板表面进行活化处理；该表面活化处理装置包括一外壳、一反应装置及一封闭装置；所述外壳包括一内侧壁及一底壁，所述内侧壁设置有至少一用于承载所述基材之容置槽，所述底壁上开设有一轴孔；所述反应装置容置在外壳内并通过一转轴转动连接在轴孔内；该反应装置包括一外筒、一容置在外筒中之内筒及至少一设置在外筒内之紫外光灯管，外筒与内筒之间形成一第一空间，内筒围成一第二空间；所述封闭装置包括用于将外壳及反应装置封闭之盖体，与第一空间相连通之第一进气管及与第二空间相连通之第二进气管；所述外筒之侧壁设置有多个与第一空间连通之第一喷口、与第二空间连通之第二喷口及与紫外光灯管相连通之出光孔。