微影装置及器件制造方法

摘要

本发明描述一种微影投影装置中之一排液管的实施例，该等实施例具有(例如)一在无液体存在于该排液管中时之一时期期间减小气体至该排液管中之流入的特征。在一实例中，提供一被动式液体移除机构，使得该排液管中之气体压力等于周围气体压力，且在另一实施例中，提供一瓣片以在不需要移除液体时之时间期间封闭一腔室。

主权项

一种微影装置，其包含：一基板台，其经建构以固持一基板；一液体供应系统，其经组态以向该基板台上之一物件与一投影系统之间的一空间提供一液体；一在该基板台中之排液管，其经组态以含纳在使用中在该物件之一边缘与该基板台之间泄漏之液体，其中，在使用中，该排液管中之气体压力经维持为实质上等于该基板上方之周围气体压力，其中，在使用中，液体从该物件之该边缘与该基板台之间经由一间隙而进入该排液管，及该液体与该间隙之彼此相对之表面具有大于90°之一接触角，其中该排液管包含一腔室，该腔室经由该间隙而对该基板台之一顶部表面开放；及一分割器(divider)，其位于该间隙下方之该排液管中，用以将该间隙进入该排液管之开口分割成至少两个，其中该分割器包含一网状物。