摘要 |
Датчик статического электричества, состоящий из сегнетоэлектрического элемента с электродами в виде сегнетоэлектрического конденсатора переменной емкости, отличающийся тем, что в качестве чувствительного элемента используют сегнетоэлектрический элемент, представляющий собой сегнетоэлектрическую пленку переменной емкости с системой электродов, расположенную на подложке. |