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发明名称 SUPPORT MODULE FOR LITHOGRAPHY SYSTEM.
摘要
申请公布号 NL2012384(C) 申请公布日期 2014.11.10
申请号 NL20142012384 申请日期 2014.03.07
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 发明人 DUNNING ALJE GEERT
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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