| 摘要 |
1. Источник исходного продукта, содержащий:присоединяемый картридж исходного продукта, выполненный с возможностью отсоединения;первую соединительную часть, выполненную с возможностью присоединения картриджа исходного продукта к источнику исходного продукта и отсоединения от него; ивторую соединительную часть для присоединения источника исходного продукта к устройству реактора осаждения и отсоединения от него.2. Источник по п.1, содержащий фильтр частиц, соединенный с первой соединительной частью.3. Источник по п.1, содержащий уплотнительную часть или клапан, выполненный с возможностью герметичного закрытия картриджа исходного продукта с обеспечением предотвращения потока материала исходного продукта из картриджа исходного продукта к первой соединительной части.4. Источник по п.3, содержащий третью соединительную часть на первой стороне уплотнительной части или клапана и четвертую соединительную часть на другой стороне уплотнительной части или клапана, при этом указанные третья и четвертая части выполнены с возможностью открытия для отсоединения указанной уплотнительной части или клапана и для того, чтобы очистить картридж.5. Источник по п.1, содержащий теплопроводящий корпус источника, и в нем картридж нагревателя.6. Источник по п.5, содержащий слой теплоизолирующего материала вокруг корпуса источника, и покрытие вокруг слоя теплоизолирующего материала.7. Источник по п.1, содержащий теплопроводящий выступ, расположенный около нижней части картриджа исходного продукта и имеющий выточенный канал для вмещения термопары.8. Источник по п.1, в котором картридж исходного продукта содержит ручной клапан кар |
