| 摘要 |
Маска для травления тонких слоев платины методом физического распыления, состоящая из верхнего маскирующего металлического слоя и нижнего диэлектрического маскирующих слоя, нанесенных на слой платины, отличающаяся тем, что верхний маскирующий слой состоит из титана толщиной 0,1 - 0,2 мкм, а в нижнем слое из нитрида кремния толщиной 0,1 -0,25 мкм вытравлен рисунок, повторяющий верхний маскирующий слой. |
