| 发明名称 |
REACTIVE SPUTTERING USING AN INTERMETALLIC OR CERAMIC TARGET |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Sputterverfahren zur Herstellung von Al-Cr-N Schichten, dadurch gekennzeichnet dass im für das Verfahren eingesetzten Target die Elemente nicht elementar sondern in einer Verbindung vorliegen.</p> |
| 申请公布号 |
WO2014177255(A1) |
申请公布日期 |
2014.11.06 |
| 申请号 |
WO2014EP01093 |
申请日期 |
2014.04.24 |
| 申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH |
发明人 |
RACHBAUER, RICHARD;ARNDT, MIRJAM |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/00;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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