Verfahren zur Bestimmung von Verunreinigungen in Silizium mittels IR-Spektroskopie

摘要

Verfahren zur Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes an Siliziumproben mittels IR-Spektroskopie, enthaltend zumindest die folgenden Schritte: a) Bereitstellung einer sägerauen Siliziumprobe mit einer Oberflächenrauheit Ra größer 0,02 Mikrometer und einer Dicke kleiner 6 mm b) Einstrahlung von EM-Strahlung im IR-Bereich auf die sägeraue Siliziumprobe c) Messung der Absorption bei einer vordefinierten Wellenlänge d) Wiederholung der Schritte b) und c), wobei eine Referenzprobe vermessen wird e) Ermittlung des Verunreinigungsgehaltes anhand des in den Schritten b) bis d) erhaltenen Extinktionskoeffizienten