| 摘要 |
<p>Vorrichtung zur berührungslosen Kantenprofilbestimmung an einem dünnen scheibenförmigen Objekt (2), enthaltend einen Drehtisch (11) zum Rotieren des scheibenförmigen Objekts (2) um eine Rotationsachse (12) und eine Messanordnung (3) zum radialen Positionieren von Lichtquellen zum Beleuchten eines Randbereichs (22) des scheibenförmigen Objekts (2) in nahezu radialer Richtung zu dessen Rotationsachse (12) und mindestens einer Kamera (35) zum Aufnehmen des beleuchteten Randbereichs (22), wobei die Kamera (35) in einer parallel und mittig zwischen den Planflächen des scheibenförmigen Objekts (2) verlaufenden Basisebene (41) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass–mehrere Lichtquellen in Form von Laserstrahlquellen (31, 32) mit linienförmigem Strahlprofil vorhanden sind, die jeweils ein linienförmiges Lichtbündel (33) aussenden,–die linienförmigen Lichtbündel (33) der Laserstrahlquellen (31, 32) koplanar in einer gemeinsamen Ebene, die eine orthogonal zur Basisebene (41) orientierte Messebene (43) darstellt, angeordnet und aus unterschiedlichen Richtungen auf einen gemeinsamen Schnittpunkt (42) der optischen Achsen (34) der Laserstrahlquellen (31, 32) im Randbereich (22) des Objekts (2) gerichtet sind, wobei in der Messebene (43) eine von den linienförmigen Lichtbündeln (33) der Laserstrahlquellen (31, 32) zusammengesetzte Lichtschicht (4) ausgebildet ist, und–die mindestens eine Kamera als Basiskamera (35) in der Basisebene (41) lateral so auf die Messebene (43) gerichtet ist, dass sie ausschließlich von einer durch die Lichtschicht (4) im Randbereich (22) des Objekts (2) beleuchteten Lichtlinie (44) ausgehendes Streulicht aufnimmt.</p> |
