发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Halbleitervorrichtung
摘要 <p>Im Innenumfang eines Chips mit einer Dicke (t21), welche kleiner als die Dicke (122) des Außenumfangs des Chips ist, in welchem eine Abschlussstruktur (26) bereitgestellt ist, ist ein aktives Gebiet (27) bereitgestellt. Ein n-Feldstoppgebiet (4), ein p-Kollektorgebiet (11) und eine Kollektorelektrode (12) sind in dieser Reihenfolge auf der anderen Hauptoberfläche eines n–-Driftgebiets (2) bereitgestellt. Das n-Feldstoppgebiet (4), das p-Kollektorgebiet (11) und die Kollektorelektrode (12) sind so bereitgestellt, dass sie sich vom aktiven Gebiet (27) zur Abschlussstruktur (26) erstrecken. In der Abschlussstruktur (26) ist zwischen dem n-Feldstoppgebiet (4) und dem p-Kollektorgebiet (11) ein Siliciumoxidfilm (3) bereitgestellt. Die Position (L1) des Siliciumoxidfilms (3) ab einer ersten Hauptoberfläche des n–-Driftgebiets (2) in einer ersten Tiefenrichtung ist im wesentlichen die gleiche wie die Position (L2) der Kollektorelektrode (12) ab der ersten Hauptoberfläche des n–Driftgebiets (2) in der ersten Tiefenrichtung im aktiven Gebiet (27).</p>
申请公布号 DE112011103506(T5) 申请公布日期 2014.11.06
申请号 DE201111103506T 申请日期 2011.11.17
申请人 FUJI ELECTRIC CO., LTD 发明人 LU, HONGFEI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/739 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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