| 摘要 |
<p>Ein Drucksensor beinhaltet ein druckerfassendes Element, welches ein Diaphragma, einen Hohlraum und eine Brückenschaltung, welche an dem Diaphragma angeschlossen ist, besitzt. Eine oberste Oberfläche bzw. Deckfläche ist als Teil des druckerfassenden Elementes gebildet, so dass wenigstens ein Teilbereich der Deckfläche Teil des Diaphragmas ist und die Vielzahl der Piezowiderstände auf der Deckfläche platziert ist. Eine Kappe ist an die Deckfläche durch das Gebrauchen einer Vielzahl von Schichten gebondet. Eine der Schichten ist eine Siliziumdioxidschicht, eine andere Schicht ist eine Siliziumnitridschicht, eine andere Schicht ist eine Oxidschicht und eine andere der Schichten ist eine Polysiliziumschicht. Die Vielzahl der Schichten stellt ein richtiges bzw. geeignetes Bonden zwischen der Kappe und der Deckfläche des druckerfassenden Elements bereit.</p> |
