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发明名称 ROTORS OR STATORS OF A TURBOMOLECULAR PUMP
摘要 The invention relates to rotors or stators of a turbomolecular pump with rotor blades made of a specific aluminum alloy.
申请公布号 EP2013482(B1) 申请公布日期 2014.11.05
申请号 EP20070728626 申请日期 2007.04.27
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;OTTO FUCHS KG 发明人 HÖLZER, RAINER;FROITZHEIM, MICHAEL;ETSCHENBERG, LARS;ROTH, ISHAN;FISCHER, GERNOT;SAUER, DIETER;TERLINDE, GREGOR
分类号 F04D19/04;C22C21/14;C22F1/057;F04D29/02 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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