流体承载装置

摘要

本实用新型公开了一种流体承载装置，其包括支撑框和位于支撑框底部的重量传感装置。重量传感装置包括有多个重量传感器，每个重量传感器上能够放置一个承载流体的容器，每个重量传感器能够感测位于其上方的容器的重量，并将其感测到的相应容器的重量数据传输出去，所述重量传感装置包括安装本体、多个容器托盘、多个连接接头、多个重量传感单元和底部封板，相应的容器托盘、连接接头、重量传感单元组装在一起形成一个重量传感器。这样可以实时的了解各个容器的重量，从而根据这些数据来监测使用容器内的流体的半导体处理装置的运行情况。

主权项

一种流体承载装置，其特征在于，其包括支撑框和位于支撑框底部的重量传感装置，重量传感装置包括有多个重量传感器，每个重量传感器上能够放置一个承载流体的容器，每个重量传感器能够感测位于其上方的容器的重量，并将其感测到的相应容器的重量数据传输出去，所述重量传感装置包括安装本体、多个容器托盘、多个连接接头、多个重量传感单元和底部封板，相应的容器托盘、连接接头、重量传感单元组装在一起形成一个重量传感器。