| 发明名称 | 一种光学错误注入系统及其平台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光学错误注入系统及其平台。该光学错误注入平台包括：载物平台，用于承载待测芯片；光学头，用于对待测芯片进行光学错误注入；第一传动机构，用于与载物平台连接且沿直线轨迹传动载物平台；第二传动机构，用于与光学头连接且沿曲线轨迹传动光学头。本实用新型能够实现了光学头和载物平台两者协调配合移动，减少物理位置盲区，并且提高了光学错误注入的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203930001U | 申请公布日期 | 2014.11.05 |
| 申请号 | CN201420288224.2 | 申请日期 | 2014.05.30 |
| 申请人 | 国民技术股份有限公司 | 发明人 | 杨坤;谭锐能;潜晟;陈诗平;王宇建 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人 | 何青瓦 |
| 主权项 | 一种光学错误注入平台，其特征在于，所述光学错误注入平台包括：载物平台，用于承载待测芯片；光学头，用于对所述待测芯片进行光学错误注入；第一传动机构，用于与所述载物平台连接且沿直线轨迹传动所述载物平台；第二传动机构，用于与所述光学头连接且沿曲线轨迹传动所述光学头。 | ||
| 地址 | 518057 广东省深圳市高新技术产业园区深圳软件园3栋301、302 | ||