发明名称 Optical element and manufacturing method thereof
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein optisches Element und ein Verfahren zu seiner Herstellung.</p><p>Das optische Element umfasst ein Substrat <Bold>1,</Bold> in das ein passiver Wellenleiter <Bold>10,</Bold> der eine Dicke D und eine obere Kante <Bold>11</Bold> aufweist, und ein Laserwellenleiter <Bold>20,</Bold> der eine Dicke d und eine obere Kante <Bold>21</Bold> aufweist, eingebracht sind, wobei der passive Wellenleiter <Bold>10</Bold> und der Laserwellenleiter <Bold>20</Bold> über eine Verbindungsfläche <Bold>15</Bold> derart in direktem Kontakt zueinander stehen, dass zwischen dem passiven Wellenleiter <Bold>10</Bold> und dem Laserwellenleiter <Bold>20</Bold> Stirnkopplung besteht, und zwischen der oberen Kante <Bold>11</Bold> des passiven Wellenleiters <Bold>10</Bold> und der oberen Kante <Bold>21</Bold> des Laserwellenleiters <Bold>20</Bold> ein Absatz <Bold>25,</Bold> der eine Höhe H aufweist, vorgesehen ist.</p><p>Zwischen dem passivem Wellenleiter 10 und dem Laserwellenleiter 20 besteht eine wesentlich verbesserte Kopplung. Damit wird das technische Problem der Einkopplung von Laserlicht in die im Substrat 1 integrierten Wellenleiter 10, 10', 20 gelöst. Eine Abdeckung 30 schont das Lasermaterial. </p>
申请公布号 EP2154760(A3) 申请公布日期 2014.11.05
申请号 EP20090009312 申请日期 2009.07.17
申请人 KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE 发明人 VANNAHME, CHRISTOPH;MAPPES, TIMO, DR.;SCHELB, MAUNO
分类号 H01S5/026;H01L33/00;H01S5/12;H01S5/36 主分类号 H01S5/026
代理机构 代理人
主权项
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