量测群组设备及量测方法

摘要

本发明提供一种量测群组设备及量测方法，包括：分析模块和运输模块，通过分析模块控制待量测产品在量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将待量测产品运输到后续设备；运输模块，与分析模块相连，用于向后续设备中搬运待量测产品。本发明的量测方法，包括：在量测群组设备的分析模块中设定量测群组设备的最大量测数量；分析模块判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量；判断结果为是，则分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力；后续工艺设备出现闲置情况，则分析模块向所述运输模块发送跳站指令；运输模块接收到跳站指令，将待量测产品搬运到后续工艺设备中，从而加快产品流通。

主权项

一种集成电路生产工艺中的量测群组设备，其特征在于，所述量测群组设备包括：分析模块，用于控制待量测产品在所述量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将所述待量测产品运输到所述后续设备；运输模块，与所述分析模块相连，用于向所述后续设备中搬运所述待量测产品。