一种基于双FP腔的同轴分幅高速成像和干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种基于双FP腔的同轴分幅高速成像和干涉测量方法，包括将激光分为若干路光束，光束通过光程不等的前FP腔，使得每束光具有不同的脉冲间隔，再通过分光镜将光束合成一路照明光照射物体，经物体反射或透射后的光通过分光镜分成若干路光束，每一束光通过一个后FP腔后到CCD。本发明无参考光全光光路将FP干涉图像在时间和空间上分开，而不需要借助机械或光电快门，可以同时实现高的时间分辨和空间分辨能力；具备同轴分幅成像能力，即每幅图像具有相同的视角；可用于任意反射物体和透射物体的测量。

主权项

一种基于双FP腔的同轴分幅高速成像和干涉测量方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤一：由短脉冲激光器发射一束短脉冲激光，通过分光镜分为若干路光束，每一路光束分别经过一个独立的前FP腔后形成若干路梳状脉冲串；步骤二：步骤一中的每一路梳状脉冲串通过分光镜合成为沿着同一路径传播的照明光，照射到被测物；步骤三：从被测物上反射或透射的光通过前组镜头后，被分光镜分为若干路光束，每一路光束分别经过一个独立的后FP腔和后组镜头后由CCD接收。