发明名称 去芯片静电的粘片机
摘要 本实用新型提供了一种去芯片静电的粘片机,包括放置芯片和引线框架的载物台,在载物台的一侧设置一等离子体发生装置以及一风机,所述风机朝向所述载物台设置,所述等离子发生装置设置在风机和载物台之间,能够将等离子体发生装置产生的由正、负电荷构成的等离子体吹向载物台表面。本实用新型的优点在于,采用等离子体发生装置代替机械连接结构来去除电荷,能够保护芯片表面不受损伤,且不会发生接触不良而导致电荷无法去除的情况。并且该方法还可以同时去除芯片和周边环境中的电荷。
申请公布号 CN203932024U 申请公布日期 2014.11.05
申请号 CN201420338889.X 申请日期 2014.06.24
申请人 上海胜芯微电子有限公司 发明人 蔡晓雄
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人 孙佳胤
主权项 一种去芯片静电的粘片机,包括放置芯片和引线框架的载物台,其特征在于,在载物台的一侧设置一等离子体发生装置以及一风机,所述风机朝向所述载物台设置,所述等离子发生装置设置在风机和载物台之间,能够将等离子体发生装置产生的由正、负电荷构成的等离子体吹向载物台表面。
地址 201514 上海市金山区张堰镇鲁堰村六组3幢