发明名称 | 去芯片静电的粘片机 | ||
摘要 | 本实用新型提供了一种去芯片静电的粘片机,包括放置芯片和引线框架的载物台,在载物台的一侧设置一等离子体发生装置以及一风机,所述风机朝向所述载物台设置,所述等离子发生装置设置在风机和载物台之间,能够将等离子体发生装置产生的由正、负电荷构成的等离子体吹向载物台表面。本实用新型的优点在于,采用等离子体发生装置代替机械连接结构来去除电荷,能够保护芯片表面不受损伤,且不会发生接触不良而导致电荷无法去除的情况。并且该方法还可以同时去除芯片和周边环境中的电荷。 | ||
申请公布号 | CN203932024U | 申请公布日期 | 2014.11.05 |
申请号 | CN201420338889.X | 申请日期 | 2014.06.24 |
申请人 | 上海胜芯微电子有限公司 | 发明人 | 蔡晓雄 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 孙佳胤 |
主权项 | 一种去芯片静电的粘片机,包括放置芯片和引线框架的载物台,其特征在于,在载物台的一侧设置一等离子体发生装置以及一风机,所述风机朝向所述载物台设置,所述等离子发生装置设置在风机和载物台之间,能够将等离子体发生装置产生的由正、负电荷构成的等离子体吹向载物台表面。 | ||
地址 | 201514 上海市金山区张堰镇鲁堰村六组3幢 |